Нижегородские ученые разрабатывают литограф для микроэлектронного производства
Окончательно совершенствование литографа планируют завершить в 2028 году
Нижегородские ученые разрабатывают литограф для микроэлектронного производства. Об этом сообщает «Стратегия развития Нижегородской области».
О разработке ключевого производственного оборудования стало известно во время Форума «Микроэлектроника 2022». Нижегородская делегация презентовала демоверсию установки литографии, которая изготовлена в ИПФ РАН в Нижнем Новгороде.
Литограф — миниатюрный «рисунок» на кремниевой основе, который является важнейшей частью чипа. Чип — внутренний элемент процессора микроскопического размера.
«Процесс литографии немного напоминает театр теней, когда есть направленный свет, непрозрачная преграда и полотно, на котором появляется получившееся изображение. Так и в литографе есть источник излучения – например, ультрафиолетового или рентгеновского, которое проходит через специальную оптику и специальный трафарет, называемый маской, а затем ее «узор» проецируется на подложку», — говорится в сообщении.
Нижегородская разработка основана на рентгеновском источнике излучения.
«По сравнению, например, с литографами ведущего мирового производителя из Нидерландов — ASML, в нижегородской модели источник излучения в разы компактнее и чище в работе, что в конечном итоге значительно влияет на стоимость, размеры и сложность оборудования. Оптическая же система демонстратора, произведенная в ИФМ РАН, вообще превосходит все аналоги, существующие в мире на сегодняшний день», — рассказали в «Стратегии развития».
Эффективность нижегородской установки превышает качество голландской в 1,5 ‑2 раза.
Окончательно совершенствование литографа планируют завершить в 2028 году. Разработка приобретет более мощный источник излучения, улучшенные системы позиционирования и подачи, станет работать быстро и точно.
